מיקרוסקופ אלקטרונים סורק (SEM) הוא מיקרוסקופ ברזולוציה גבוהה מאוד המאפשר לראות דברים קטנים בפירוט רב מאוד. זוהי סקירה מהירה כיצד לצלם דוגמה באמצעות אחת. זכור כי SEM הוא ציוד עדין מאוד ויש להשתמש בו בזהירות רבה. עם זאת, ביצוע צעדים אלה מקרוב כמעט יבטיח שלא תפגע במיקרוסקופ שלך. ישנן גם תכונות רבות נוספות שאינן נדונות במאמר זה, אך הליך זה מתאר כיצד לקבל תמונה בסיסית.
מאמר זה מספק הוראות ספציפיות למיקרוסקופ JEOL JSM-6010LA. לכל מיקרוסקופ JEOL יהיו פקדים דומים ביותר למיקרוסקופ המתואר בהוראות אלה. מיקרוסקופים של Hitachi יהיו גם דומים מאוד, אך למותגים אחרים כמו Zeiss עשויים להיות ידיות שליטה במקומות שונים.
צעדים
שלב 1. השג מדגם מוכן
הכנת דגימה למיקרוסקופ אלקטרונים היא הליך מאוד מעמיק בפני עצמו, לכן לצורך הליך זה השתמש במדגם שהוכן עבורך. אם מדגם מוכן ל- SEM, יהיה עליו להיות בגודל מתאים וגם יהיה צורך במשטח מוליך. מכיוון שהמדגם כבר הוכן, מאמר זה יניח שהוא עומד בתנאים אלה.
שלב 2. הביאו את ה- SEM ללחץ אטמוספרי על מנת לפתוח את דלת המדגם
דע כי SEM תמיד יהיה מופעל, ותא המדגם תמיד יהיה תחת ואקום. המשמעות היא שהתא יהיה ריק לחלוטין מכל מולקולות גז כך שלאלקטרונים תהיה נתיב ברור לעבר הדגימה. לחץ והחזק את לחצן VENT עד שהוא מהבהב ותשמע נקישה. כפתור VENT ימשיך להבהב עד שהסביבה בתא תעלה ללחץ אטמוספרי. ברגע שכפתור VENT הוא כתום מוצק, פירוש הדבר שהתא נמצא בלחץ אטמוספרי ותוכל לפתוח את הדלת.
שלב 3. לבש כפפות
זה חשוב ביותר מכיוון שהתא של SEM צריך להישאר נקי מאוד!
- השתמש בידיות משני צדי הדלת והחלק את הדלת לאט החוצה.
- לאחר שהדלת פתוחה, תפוס בזהירות את מחזיק הדגימה והחלק אותה ימינה. הוא ישתחרר מהחריצים שלו ועכשיו תוכל לטעון את הדגימה שלך.
- בכל אחת מארבע הפינות של מחזיק הדגימה, ישנם שני ברגי סט המחזיקים את המדגם במקומו. שחרר מעט את הברגים הללו (חצי סיבוב של המברג אמור להספיק) ולאחר מכן הסר את הדגימה הריקה מהמחזיק.
- אתה יכול לשים את הדגימה הריקה בצד לעת עתה, אך הקפד להניח אותה על Kimwipe ולא ישירות על שולחן או שולחן. הנח את הדגימה שלך במחזיק ולאחר מכן הדק את הברגים.
- כאשר הדגימה שלך במקום, קדימה והחליק את מחזיק הדגימה בחזרה לחריצים שלה על שלב הדגימה.
- כעת תוכל לסגור את הדלת על ידי דחיפת הדלת בחזרה לתא.
שלב 4. תוך כדי החזקת הדלת סגירה, לחץ והחזק את לחצן EVAC עד שהוא מתחיל להבהב כדי להחזיר את החדר לאקום
תוכלו לשמוע נקישות, ואז לאחר דקה בערך תשמעו את טורבינות המשאבה מסתובבות. משאבות אלו יסירו את כל חלקיקי הגז מהחדר ויביאו את הלחץ הפנימי לכ -10^-6 טור. כאשר כפתור EVAC זוהר ירוק מוצק, פירוש הדבר שהתא נמצא בחלל ריק. כעת המתן 5 דקות נוספות לפני שתמשיך לשלב הבא.
שלב 5. לאחר סיום 5 הדקות, אתה מוכן להדליק את קרן האלקטרונים ולהתחיל לצלם
- עבור למחשב ה- SEM ותוכנת המיקרוסקופ צריכה להיות מופעלת. הכפתור הירוק בפינה השמאלית העליונה של המסך יגיד כיבוי, המציין כי קרן האלקטרונים כבויה. לחץ עליו כדי להפעיל את הקורה, ואז היא תגיד ON.
- לאחר מכן, לחץ על הלחצן ACB (ניגודיות ובהירות אוטומטית) והדוגמה שלך תופיע.
- בעזרת כפתור ההגדלה בלוח הבקרה, התקרב להגדלה הרצויה לך. מומלץ להתמקד בהגדלה גבוהה יותר ממה שאתה רוצה עבור התמונה שלך, ולכן התמונה שלך תיראה טוב יותר כאשר תגדיל את התצוגה. לדוגמה, אם אתה רוצה תמונה בגודל 2, 500x, ייתכן שתרצה להתמקד בערך ב- 4, 000x.
- לאחר שתגדיל את התצוגה, השתמש בכפתור המיקוד כדי להביא את התמונה שלך לפוקוס.
שלב 6. התאם את גובה המדגם
כעת המדגם שלך בפוקוס, אך ייתכן שתבחין שהוא לא נראה טוב כפי שהיית מצפה.
- מתחת לתמונת הדגימה שלך במסך המחשב, תראה את מרחק העבודה שצוין כ- "WD x mm" כאשר x הוא מספר בדרך כלל בסביבות 10-20. שימו לב למספר הזה.
- לתמונות טובות, מומלץ להשתמש במרחק עבודה של 10 מ"מ. המשמעות היא שהקרן ממוקדת במרחק של 10 מ"מ מהעדשה. כדי להגדיר את מרחק העבודה שלך, לחץ על "רוחב x מ"מ" ותופיע מחוון שיאפשר לך לשנות את המספר x ל 10. קדימה ולחץ על 10.
- נכון לעכשיו, גובה המדגם הוא Z = 25 מ"מ. כדי לשנות את גובה המדגם, תשתמש בכפתור Z. החלק הזה יכול להיות מסובך. לא משנה מה היה מרחק העבודה המקורי, הפחת 10 מ- is וזה כמה תצטרך להזיז את כפתור ה- Z שלך. לדוגמה, אם ה- WD שלך היה 16 מ"מ ושינית אותו ל -10 מ"מ, יהיה עליך להזיז את כפתור ה- Z כלפי מטה כ -6 מ"מ. אז אתה תהפוך אותו ל -19 מ"מ בערך.
- בזמן שאתה מסובב את כפתור ה- Z, צפה במסך מכיוון שהוא יתחיל להתמקד. ברגע שהיא ממוקדת, התמונה שלך מוכנה!
שלב 7. התקרב בחזרה להגדלה הרצויה ואם ברצונך לעבור לאזור אחר בדגימה שלך, תוכל להשתמש בכפתורי X ו- Y
אתה יכול גם להתאים את הניגודיות והבהירות לטעמך. כאשר אתה מוצא אזור שאתה אוהב, צלם תמונה על ידי לחיצה על סמל המצלמה שאומר "אחסן". פעולה זו תפתח תיבת דו -שיח המאפשרת לך לשמור את קובץ התמונה שלך. אתה יכול לתת שם לקובץ כפי שאתה בוחר ולשמור אותו בכל תיקיה במחשב או בכונן הבזק.
שלב 8. כבה את קרן האלקטרונים על ידי לחיצה על הכפתור הירוק שאומר "ON" בפינה השמאלית העליונה
וודא שכתוב "כבוי" לפני שתמשיך. סובב את כפתורי X, Y ו- Z כך שכל ערך יהיה 25 מ"מ. כעת לחץ והחזק את לחצן VENT עד שהוא מהבהב כדי להחזיר את תא הדגימה ללחץ אטמוספרי.
שלב 9. פתח את תא הדגימה ברגע שכפתור VENT הוא כתום מוצק
לאחר הסרת הדגימה מהמחזיק, הנח את הדגימה הריקה בחזרה למחזיק והחלק אותה בחזרה לשלב המדגם. החלק את הדלת לאחור למצב סגור. לבסוף, לחץ והחזק את לחצן EVAC עד שהוא מהבהב. לעולם אל תשאיר את תא SEM מאוורר, הדבר עלול לגרום נזק לחלקים שבתוכו. לאחר כפתור EVAC מזהיר ירוק מוצק, שמור לעזוב את ה- SEM.
אזהרות
- חשוב מאוד ללבוש כפפות בעת נגיעה בכל דבר שייכנס לתא הדגימה!
- לעולם לא השאר את תא SEM מאוורר. אם אתה עוזב את ה- SEM, וודא כי כפתור EVAC זוהר בירוק יציב.
- אם המדגם שלך לא הוכן במיוחד עבור SEM, אל תכניס אותו למיקרוסקופ! חלק מהדוגמאות פשוט לא יופיעו היטב, אך אחרות יכולות למעשה לגרום נזק לחלקים הפנימיים.
